研磨テーブル

全意研磨テーブルの平面度検定方法と手順：測定された平板の形状、寸法に基づいて布点形式を選択し、そして各断面のセグメント数と橋板スパンを決定する、固有水平計または反射鏡の橋板を被測定断面に置き、測定方向等スパン、首尾接合に沿って橋板を移動し、各位置の示度を記録する、水平計を用いて測定する場合、被測定面はほぼ水平位置に調整される。自己コリメータを用いて測定する場合、被測定線は計器の光軸とほぼ平行になるように調整する、セグメント検定結果に基づいてデータ処理を行い、平面度値を求める。

一般的に標準研磨テーブルの使用寿命は非常に長く、正しい方法で使用と保存を採用すれば、研磨プラットフォームの作業面の精度は2年以上維持することができ、研磨テーブルの精度精度が低下した場合はデバッグやスクライブプロセスで回復することができ、研磨プラットフォーム自体の使用寿命は50-100年に達することができる。

研磨テーブル精度：それぞれ0、1、2、3の4段階である。

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