芯笙ガス流量計はいくらですか

次世代工業級流量センサチップと優れたガス路構造の結合

デジタル質量流量制御器：会社が自主開発した工業級優良流量センサチップを採用し、低圧損ガス路構造及び高精度デジタル制御回路とアルゴリズムを結合し、広い温度範囲内の高精度、高安定性、広いレンジ比制御を実現する。この製品は現場調整スクリーンと独立した電力供給インタフェースを備え、半導体、真空めっき膜、光起電力及びその他の各種応用環境に適している。

科学者トーマスが提案した「ガスの吸熱量または放熱量はガスの質量流量に比例する」理論に基づいて発展した。気流がない場合、Heaterを中心とした温度場対称分布、気流がある場合、温度場分布がずれて上下流に温度差が生じ、この温度差を測定することで、チップ表面を流れる気体質量流量を推定することができる。

青島芯笙MFC-S 500シリーズガス質量流量制御器、*のガス流路設計を有し、柔軟な分流比配置を実現でき、レンジは1 sccm ~ 120 slmをカバーし、最小制御精度は0.1 sccm、0 ~ 50℃温度範囲ドリフト量はわずか0.4 ~ 0.6%である。電気信号の面では、多種のデジタルとアナログ制御方式を提供し、工業級のディスプレイを備え、顧客の現場での調整と配置を容易にする。