供給ガス質量流量制御器s−300の製造

プロフィール

高性能マイクロソフト基礎クラスライブラリ、半導体業界のために量産

S300シリーズデジタルマスフローコントローラ/流量計：会社が自主開発した工業級の優れた流量センサーを採用し、精細な研磨ガス路構造及び高精度のデジタル制御回路とアルゴリズムを結合し、高精度、低零れ、高繰り返し性制御を実現する。この製品は現場ディスプレイとアドレスコードスイッチを備え、多種の通信方式が選択可能で、全金属密封をカスタマイズでき、半導体、真空めっき膜、光起電力及びその他の各種応用環境に適している。

主なメリット

S1物理機能モジュールが豊富

上部には豊富な機能モジュールが配置されています。

*RJ45ディジタル通信インタフェース(カスタマイズ可能

イーサネット制御自動化技術またはRS485プロトコル)

* アドレス符号化スイッチ

* フィールドディスプレイ

* 状態表示灯

また、側面には仲間航空給電インタフェースは、直感的で操作が簡単で、ユーザーが現場流量の監視と制御を行うのに便利であることを示している。

2ページ迅速な応答

1.5ミリ秒センサ応答時間、0.1～0.5秒計器システムは時間に応答し、微小流量変化をタイムリーに捕捉する。

3ページ高精度

2.0%-パーセントフルレンジ全レンジセグメントは高精度を維持する：

0.3%F.S(≤30%F.S.）；1.0%標準偏差（＞30%F.S.）

第四心音専用上位機を搭載

強力なインテリジェントなプロセス上位機ソフトウェアは、複数台の連動をサポートし、監視と設備配置を容易にする。

S5認定製品

通じて図夫国際機関CE&EMC資格認定、または7月1級校正証明書など、複数の項目に適合半導体装置・材料協会標準

製品仕様

* 特に説明がない限り、本製品は以下の条件：窒素、温度25℃、2.5バール差圧(くうきいりぐち3.5バールぜったいあっしゅくたいブリード1bar

ぜつえんあつ)、水平置きインストール。

* 入口端に適切な寸法の直管セグメントを取り付けることをお勧めします。そうしないと、精度にばらつきが生じる可能性があります。

* 追加の圧損を避けるために、入口端と出口端にできるだけ大きな継ぎ手を合わせることをお勧めします。

1 示されたレンジは窒素ガスの任意のレンジである。

2%F.S。誤差がフルレンジに占める割合を指します。

3%標準偏差。設定値に対する誤差の割合。

4 応答時間とは、設定値±2%以内に必要な時間。

5 作動圧力とは吸気口と排気口を指す（1barぜつえんあつ)間の差圧については、詳細についてはお問い合わせください。

寸法及び通信