ウェハ転送ステーションベンダー

エボナ全自動ウェハプローブ台製品紹介

エボナーウエハプローブ台の構造は精巧で、1ミクロンのプローブ調整精度を持ち、無線周波数線と多種のコネクタタイプを備え、異なる試験需要を満たす。米国GGBプローブ、韓国輸入プローブ、国産プローブなど、幅広いタイプのプローブを配合し、幅広い応用範囲を確保する。プローブ台には高性能の真空ポンプと27インチの2 KフルHD専門ディスプレイも搭載されており、ユーザーに便利な操作体験と高品質な表示効果を提供しています。また、その制御シャーシはシステムの3軸電動モータ制御を集積し、サンプル加熱テーブルと真空吸着機能をより正確で信頼性の高いものにした。

エボナ全自動ウェハプローブ台製品の特徴

1、正確性と制御：手動プローブ台は1ミクロンの正確な制御を実現でき、ミクロンスケールでの正確な位置決めを確保する。

2、柔軟性：使用時に手動でプローブまたは試料台を回転、上下、左右または傾斜させて、異なる実験ニーズを満たし、異なる試料の形状と大きさに適応することができる。

3、リアルタイムフィードバック：顕微鏡とニコンCCD（可視光から中近赤外帯域まで）を搭載し、リアルタイムでプローブとサンプルの相対位置を観察し、正確な位置合わせを確保することができる。

4、簡単な操作：デザインが直感的で、操作が簡単で、使いやすい。

5、安定性：構造設計が堅固で、高品質の材料で作られ、測定時に全設備が密封され、長期的に安定した運行を確保する。

6、互換性：多種のプローブと光電測定システムを組み合わせることができ、ピコ秒、フェムト秒レーザを外接し、光電流検出を行うことができる。外部ラマン第二高調波などの光学的非破壊測定が可能である。

7、カスタマイズ可能性：特殊な応用条件を満たすために、プローブの長さ、角度、台座の大きさなど、ユーザーの特定のニーズに応じてカスタマイズすることができる。