超高輝度照明装置の表面検査ランプUIH-3 Dは、対象物(※1)に高輝度の光を照射すると振打現象が発生し、表面の傷やゴミ、内部の異物や気泡が目視で容易に確認できる。※1:半導体ウエハ、マスクガラス、ハードディスク、液晶パネル、レンズなど!
超高輝度照明装置表面検査ランプUIH-3 D
超高輝度照明装置表面検査ランプUIH-3 D
製品特徴の紹介:
点火監視装置(TAMシリーズ)、超高輝度照明装置(UIH−1、UIH−2、UIH−3)、半導体ウェハ断面形状測定装置(WEMS、VSSW)などの測定装置製造現場。
UIH-1 Cタイプ仕様 |
高輝度ハロゲンランプ(15 V 150 W)を採用。 |
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UIH-2 Dタイプ仕様
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高輝度ハロゲンランプ(100 V 300 W)を採用。 ランプボックス異常発熱時自動OFF機能を搭載。 |
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UIH-3 Dタイプ仕様
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高輝度ハロゲンランプ(100 V 650 W)を採用。 ランプボックス異常発熱時自動OFF機能を搭載。 |
UIH-1 Cタイプ仕様
| ランプ定格 |
15V 150W |
| 設計照射直径と距離 |
ランプバレル先端から180 mmのところの直径40 mm |
| 最大明るさ |
上方照射直径中心約600000ルクス |
| 500000ルクス照射直径 |
約φ45 mm |
| 二重直径時の距離と輝度 |
360 mm約150,000ルクス |
| 輝度偏差と可変幅 |
最大輝度偏差:上限10%、下限20%可変幅10:1以上 |
| 最大輝度ランプ寿命 |
50時間以上 |
| はんきどでんきゅうじゅみょう |
800時間以上 |
| 調光方式 |
サイリスタ位相制御 |
| ランプ室内冷却 |
ファンを使用した強制空冷方法 |
| ランプボックス内発熱監視 |
何もない |
| ランプボックス冷却メンテナンス(*1) |
何もない |
| 電源 |
AC 100 Vトランスタイプ |
| 総重量 |
約7キロ |
*1電球を保護するため、主電源スイッチがオフの場合でも、ファンによってランプ室内温度が約40℃以下に下がるまで冷却する機能を維持することができます。
UIH-2 Dタイプ仕様
| ランプ定格 |
100V 300W |
| 設計照射直径と距離 |
ランプシリンダから200 mmのところの直径70 mm |
| さいだいきど |
上方照射直径中心約400,000ルクス |
| 500000ルクス照射直径 |
約φ60 mm |
| 二重直径時の距離と輝度 |
400 mm約100,000ルクス |
| 輝度偏差と可変幅 |
最大輝度偏差:上限10%、下限20%可変幅10:1以上 |
| 最大輝度ランプ寿命 |
75時間以上 |
| はんきどでんきゅうじゅみょう |
1000時間以上 |
| 調光方式 |
サイリスタ制御(50/60 Hz自動切り替え) |
| ランプ室内冷却 |
ファンを使用した強制空冷方法 |
| ランプボックス内発熱監視 |
温度が約100℃を超えると、ランプは強制的にオフになります。 |
| ランプボックス冷却メンテナンス(*1) |
はい |
| 電源 |
AC 100 Vセミトランスタイプ |
| 総重量 |
約9キロ |