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メール
447062079@qq.com
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電話番号
13817415075
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アドレス
上海市奉賢区大葉道路葉張路16号
Shanghai Haixiang Instrument Equipment Factory
447062079@qq.com
13817415075
上海市奉賢区大葉道路葉張路16号

一、設備用途
半導体、光電素子、エネルギー原材料、通信製品、電気機械製品などの無酸化乾燥、硬化、溶接、アニールなどの処理技術に適用する。
二、技術仕様
パラメータ/モデル |
HZF-100L型 |
HZF-150L型 |
HZF-250L型 |
HZF-500L型 |
容積(L) |
100L |
150L |
250L |
500L |
内部寸法mm |
470*450*450 |
500*600*500 |
800*700*900 |
1000*1000*1000 |
外寸法mm(約) |
940*720*1530 |
970*870*1580 |
1270*970*1980 |
1470*1270*2080 |
おんどはんい |
室温+15 ~ 250℃ |
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おんどへんどうど |
±0.2℃ |
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ヒーター管 |
クリーン化ヒータ5 KW×1 Sets |
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真空度 |
100KPa〜0.1KPa |
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せっけいげんかいしんくう |
0.2KPa |
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真空度漏洩率 |
24時間平均ガス漏れ率≦800 Pa |
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しょうおんそくど |
RT ~ 150℃約30 min |
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降温速率 |
150℃~ 60℃で約30 min |
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しんくうそくど |
<0.2KPa/5分 |
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真空度放出 |
<5 ~ 15 min(調整可能)、破真空ガスは切り替え可能(窒素と空気:空気帯濾過) |
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酸素含有量 |
腔体氧含量≤1000PPM |
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窒素ガス流量 |
窒素ガス流量10 ~ 100 L/Minフロート流量スイッチ |
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仕切り |
2枚 |
三つ |
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三、構造特徴
(1)縦型キャビティ設計を採用し、上部は作業キャビティであり、キャビティ内に仕切り板と冷却ダクト、背面送風モータ、下キャビティに真空ポンプ、冷却管路と粒子状物質フィルタが下部電気キャビネット内に取り付けられ、キャビティ内に抽気口、放気口、窒素吸気口、抽気真空弁がキャビネット底部背面に取り付けられ、
(2)箱体外殻:高品質A 3/厚さ1.5 mm冷間圧延鋼板を100*100*80 mm溝鋼で溶接して、表面静電噴霧成形、
(3)内部キャビティ:入口SUS 304/厚さ3.0/5.0 mm線引きステンレス鋼板、
(4)ドアを開ける機構:溝鋼と強化ガラスを接続して作る(片ドア)、
(5)ドアシール材料:箱ドアの閉締緩さを調節でき、全体的に日本輸入シリコンゴムドアシールリングを成形し、箱内の高真空度を確保する;
(6)温度制御:高精度マイクロコンピュータPLCプログラム温度制御器、PIDと経験値ファジィ制御技術を採用し、温度制御が正確で、動作温度が任意に設定され、データ記録保存、USBデータ導出機能、故障警報照会機能、
(7)真空制御:PLCリレーにより自動真空引きを制御し、遅延真空引き及びタイミングスイッチを実現する。抽気管路には電磁弁が取り付けられている。タイミングを設定して真空ポンプを開き、自動抽気、タイミング停止機能、データ記録保存、
ほごシステム
独立した超温警報による加熱電源の遮断
ろうでんほご
ブレーカワイヤアラーム
ファン過熱保護
真空ポンプ過熱過負荷保護
水冷流量保護
窒素超圧保護
フェーズプロテクタ
アース等保護