全自動分光測定器価格

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概要

オリンパスのUSPM-RU-W近赤外顕微鏡分光測定器は、可視光領域から近赤外領域までの広範囲の波長の分光測定を高速&高精細に行うことができる。通常の分光光度計では測定できない微細領域や曲面の反射率を容易に測定できるため、Zは光学素子や微小な電子部品などの製品に適している。

製品詳細

オリンパスUSPM-RU-W近赤外顕微鏡分光測定器可視光領域から近赤外領域までの広範囲の波長の分光測定を高速&高精細に行うことができる。通常の分光光度計では測定できない微細領域や曲面の反射率を容易に測定できるため、zuiは光学素子や微小な電子部品などの製品に適している。

実際の測定機能
1台を用いて、反射率、膜厚、物体色、透過率、入射角45度反射率の各種分光測定を行うことができる。

◆反射率測定
φ17〜70μmを対物レンズで集光した微小点の反射率を測定した。

◆膜厚測定
反射率データを活用して、約50 nm〜約10μmの単層膜、多層膜の膜厚を測定した。

◆物体の色を測定する
反射率データに基づいてXY色度マップ、L*a*b色度マップ及び相関数値を表示します。

◆透過率の測定
受台下部からφ2 mmの平行光を透過し、平面試料の透過率を測定した。（オプション）

◆入射角45度の反射率測定
φ2 mmの平行光を側面から45度面に反射し、その反射率を測定した。（オプション）

ドメインの高精度&高速測定

◆高速測定の実現
平面格子及びラインセンサを用いて全波長同時分光測定を行い、高速測定を実現する。

◆zuiは、微細部品、レンズの反射率測定に適している
φ17 ~ 70μmの測定領域で非接触測定が可能な対物レンズを新たに設計した。通常の分光光度計では測定できない微細な電子部品やレンズなどの曲面も、再現性の高い測定を実現することができる。

◆反射率を測定する場合、裏面反射防止処理は不要
対物レンズとリング照明を組み合わせ、被検体裏面の反射防止処理を行うことなく、zui薄さ0.2 mmの反射率*を測定することができる。

◆選択可能な膜厚測定方法
USPM-RU-W近赤外顕微鏡分光測定器測定した分光反射率データに基づいて単層膜または多層膜の膜厚解析を行った。用途に応じて*の測定方法を選択することができます。

：仕様
	はんしゃりつそくてい			透過率測定*1	45度反射測定*1
名称	近赤外顕微鏡分光測定器			近赤外顕微鏡分光測定器用透過測定オプション	近赤外顕微鏡分光測定器用 45度反射測定オプション
モデル	USPM-RU-W
波長を測定する	380〜1050nm
測定方法	参照サンプルの比較測定			*基準に対する透過率測定	参照サンプルの比較測定
測定範囲	以下の対物レンズの仕様を参照			約2.0 mm
そくてい再現性（3σ）*2	はんしゃりつそくてい	10×、20×対物レンズ使用時	±0.02[%]以下（430-1010 nm）、 ±0.2[%]以下（上記以外）	±1.25[%]以下（430-1010 nm）、 ±5.0[%]以下（左側記載を除く）
		40×対物レンズ使用時	±0.05[%]以下（430-950 nm）、 ±0.5[%]以下（上記以外）
	あつまくそくてい	±1%		-
波長表示分解エネルギー	1nm
照明アクセサリ	ハロゲンランプ光源JC 12 V 55 W（平均寿命700 h）
へんいうけだい	担持面寸法：200（W）×200（D）mm 荷重：3 kg 動作範囲：（XY）±40 mm、（Z）125 mm
けいしゃうけだい	－			担持面寸法：140（W）×140（D）mm 荷重：1 kg 動作範囲：（XT）±1°，（YT）±1°
装置品質	本体：約26 kg（PCを除く）			本体：約31 kg（PCを除く）*3
	制御電源箱：約6.7 kg
装置寸法	本体部：360（W）×446（D）×606（H）mm			本体部：360（W）×631（D）×606（H）mm
	制御電源ボックス：250（W）×270（D）×125（H）mm
電源仕様	入力仕様：100-240 V（110 VA）50/60 Hz
使用環境	水平振動のない場所温度：15～30℃ 湿度：15～60%RH（結露なし）

*1オプション部品*2本社測定条件下の測定*3透過率測定キットと45度反射測定キットの総重量は33 kgである。

対物レンズ
モデル	USPM-OBL10X	USPM-OBL20X	USPM-OBL40X
倍率	10x	20x	40x
NA	0.12	0.24	0.24
測定範囲*4	70 ミクロメートル	34μm	17μm
さぎょうきょり	14.3ミリメートル	4.2ミリメートル	2.2ミリメートル
サンプルの曲率半径	±5mm～	±1mm～	±1mm～

*4点径

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