全自動三次元形態計はどの家がいいですか

3次元トポグラフィ概要

Rtec 3次元形態計カリフォルニアシリコンバレーで製造されています。複数のラボ、大学、業界で使用されています。UPシリーズ1つのヘッドに4種類の撮像モードを組み合わせた。同じテストプラットフォーム上で複数のテストを実行可能，ボタンをクリックするだけで、イメージングモードを変換できます。この組み合わせにより、透明、平坦、暗闇、平坦、湾曲した表面などの任意の表面を容易にイメージングすることができます。各撮像モードにはそれぞれの利点があり、各項技術は互いに補完し合う。この統合技術は、データの統合分析に役立つだけでなく、メンテナンスコストを削減して効率を高めることができます。

3 D光学プロファイル装置の組み合わせ

白色光干渉計

ロータリディスク共焦点顕微鏡

ダーク視野顕微鏡

めいしょうかんけんびきょう

主要プラットフォーム仕様

製品仕様

標準電動プラットフォーム150 x 150 mm（オプション210 x 310 mm）

標準タレット、電動タレットオプション

垂直範囲は100 mmまで可能

傾斜段階6度

XYプラットフォーム分解能0.1 um

自動スプライン楷書

Sigmaヘッド-白色光干渉計

Lambdaヘッド-白色光干渉計+共焦点+暗場+明場

アプリ

●粗さ●たいせきまもう●ステップ高さ●フィルム厚さ●形態

テスト画像の例

DLCコーティングボール粗コーティング表面ボール研磨スポット

ダイヤモンドバイオフィルム微小流体チャネル

ポリマーコーティングインキマーク硬貨

研磨パッドアルミニウムの破壊痕

コーティング失効跡チップチャネルウエハ

以上デュアルモード3 Dサーフェス輪郭計撮影したサンプルの形態。同じプラットフォーム上で複数の光学技術を組み合わせて使用することで、テスターはほぼ任意のタイプのnm分解能サンプルを測定することができる。この表面輪郭機器には強力な分析ソフトウェアが搭載されており、さまざまな基準に適合しています。デュアルモード3 Dサーフェス輪郭計は同じ試験プラットフォーム上で複数の試験を実行することができ、製品の組み合わせは異なる技術応用要求に応じて変更することができる。サンプルの同一領域に対して異なるモードの実験検査を行うことができ、モード切り替えは自動化を実現することができる。複数の技術の統合により、異なる技術が同じ検出器でそれぞれの利点を十分に発揮することができます。この統合技術は、データの統合分析に役立つだけでなく、メンテナンスコストを削減して効率を高めることができます。