工具測定顕微鏡卸売

オリンパス光学測定顕微鏡紹介

信頼性の高いSTM 7測定顕微鏡-

1世紀にも及ぶオリンパスの技術を頼りに

STM 7測定顕微鏡シリーズは歴代オリンパスの技術を採用し、1世紀以上にわたる顕微鏡の研究開発と50年以上の測定顕微鏡の研究開発の経験を参考にし、品質は信頼できる。

•極微細サンプルのリアルイメージングを実現するための光学技術。

•先進的な測定技術はサンプルの正確な測定を実現する。

•オートフォーカスとフォーカスナビゲーションシステムにより、測定が簡単で正確になります。

•包括的なトレーサビリティシステムは、信頼性と信頼性の高い測定を提供します。

そのため、長年にわたって、オリンパス光学測定顕微鏡ずっとユーザーに人気があります。

STM7光学顕微鏡と先進的な測定能力の統合による正確な測定

長年の顕微鏡開発経験が優れた観察性能を達成

オリンパス測定顕微鏡STM 7シリーズには、現在の光学顕微鏡に使用されているUIS 2無限遠補正光学系が採用されている。そのため、観察された画像は高解像度と高コントラストを有し、また、収差も*除去され、微細な細部の高精度測定を確実に実現する。

明視野画像暗場画像

微分干渉画像の偏光画像

花崗岩を細かく彫刻したステージベースは測定の信頼性を高めた

さらに測定精度を保証するために、STM 7シリーズは花崗岩台座を備えた高耐久性と振動防止のミラーフレームを採用している。花崗岩の高い安定性のため、測定はサブミクロンレベルに達することができ、同時に誤差を大幅に低減することを確保する。

STM 7-LF FEM解析

高度測定のパイオニアとして、シンプルで操作しやすい高精度を提供し続けている3じくそくてい

現代の製造技術の小型化と精密化に伴い、高精度測定もますます重要になっている--XY軸平面の測定だけでなく、Z軸方向の高精度測定も必要になっている。オリンパスは開発に成功したそくていけんびきょうアクティブな反射、共焦点方法を採用したオートフォーカスシステムを使用している企業は、このような日増しに増加するニーズに対応しています。

アクティブ反射、共焦点自動焦点システムの光路

厳格なトレーサビリティシステムにより品質の信頼性を確保

オリンパスは厳しいトレーサビリティシステム制御により顕微鏡の精度を測定している。また、システムのインストール時にも追跡可能なキャリブレーションサービスを提供しています。

そくていけんびきょうトラッキングシステム

STM7のラインナップ

各機種に0.1μm示度の3軸測定システムを搭載

手動Z軸フォーカスモデル

STM7-SF

50 mm×50 mmのステージまたは100 mm×100 mmのステージを装備

STM7-MF

200 mm×200 mmのステージを装備

STM7-LF

300 mm×300 mmのステージを搭載

電動Z軸フォーカスモデル

STM7-SFA

50 mm×50 mmのステージまたは100 mm×100 mmのステージを装備

STM7-MFA

200 mm×200 mmのステージを装備

STM7-LFA

300 mm×300 mmのステージを搭載

STM7使いやすさを重視したデザイン

サンプルサイズに合ったステージを提供します

よくある質問

·短い測定ストロークでは、大きなサンプルの測定ニーズを満たすことができません。

·これまで、大型ステージはX軸方向に十分な測定ストロークを提供してきたが、Y軸のストロークはまだ小さい。測定中にX軸被覆範囲より短いY軸ストロークを試料を回転させることで補償する必要があり、このような方法は手間がかかり、効率が高くない。

·測定可能な範囲が狭いため、多くのサンプルを配置することはできません。ステージを使用して、1回限りの同時測定を実現します。

STM7ソリューション

·4種類*の正方形測定ストロークを有するステージを選択可能（50 mmx 50 mm、100 mmx 100 mm,200 mm x 200 mm,と300 mmx 300 mm）。大きなサンプルでも小さいサンプルでも、測定するサンプルに合うステージがあります。

·クラッチシステムを採用することで、粗調整と微調整の間に迅速な切り替えを実現することができる。このような切替機能を備えると、ステージもX軸とY軸方向に沿って迅速に移動することができ、XY平面上を自由に行き来することができる。

·300 mmの長方形ステージは、X軸とY軸方向に同じ測定ストロークを提供することができ、これは、300 mmのウエハやプリント基板など、サンプルを回転させずに大型サンプルのすべての測定を実現することができることを意味している。

STM7-CS50（50mm x 50mm）STM7-CS100（100mm x 100mm）

STM 7-CS 200（200 mmx 200 mm）STM 7-CS 300（300 mmx 300 mm）

同じ顕微鏡を用いた低倍率・高倍率観察

よくある質問

·ほとんどの伝統的な測定顕微鏡は対物レンズや金相しか測定できない対物レンズ、複数の観察要件を同時に満たすことはできません。

STM7ソリューション

·STM 7は、測定対物レンズを使用する測定対物レンズアダプタを取り付け、対物レンズターンテーブルに交換することで、金相対物レンズを使用することができます。これは、STM 7が金相光学系と測定光学系を同時に1台の測定顕微鏡に結合することを意味する。このようにして、大型サンプルでも微細サンプルでも、表面高さの差が大きいサンプルでも、STM 7シリーズはユーザーが選択した観察方法に対応し、協力することができます。

測定対物レンズ

測定対物レンズは非常に長い動作距離を持つため、表面の起伏が大きいサンプルに焦点を合わせる際に、対物レンズとサンプルとの接触を心配する必要はありません。また、対物レンズの低倍率能力を測定することにより、大きな視野を一度に観察することができる。

と光学顕微鏡これに匹敵する高倍率と高解像度の観察能力。さらに重要なことに、明視野観察に加えて暗場、偏光、微分干渉観察にも対応することができる。

金相対物レンズ

明視野画像暗場画像

手動焦点調整と電動焦点調整の2種類のミラーフレームを選択可能

STM7シリーズには、マニュアルフォーカスと電動フォーカスの2つのシリーズがあります

フォーカス制御には、手動タイプと電動タイプの2つのオプションがあります。荷台のサイズを考慮する必要なく、サンプルと測定内容に基づいてお客様のニーズに合った機種を選択してください。すべてのミラーフレームにはZ軸リニアスケールが内蔵されており、各種モデルSTM 7は3軸測定に対応しています。

手動Z軸フォーカスモデル

手動Z軸合焦モデルは、広く使用されている合焦つまみを操作することで、Z軸を迅速に上下に移動することができるコスト効率を提供しています。様々な高さのサンプルを持つユーザーを測定するのに便利です。

電動Z軸フォーカスモデル

電動焦点調整装置を使用することで操作性を大幅に向上させ、焦点や高さ測定を行う際の操作疲労を低減することができる。粗微焦点調整の同軸つまみ設計により、使用者は慣習的な手動のような方法で操作することができ、モータ型にはオートフォーカスユニットを搭載することもできる。

画期的な設計の制御ユニットが測定顕微鏡の操作性を大幅に向上

よくある質問

·その他の機能には、追加の操作ユニットを追加する必要があります。オペレータは対応する操作ユニットを迅速に見つけることができず、測定効率が著しく低下した。

·多くの操作装置と電源ボックス、制御ボックスがホストの周囲に点在し、貴重な作業スペースを占めています。

STM7ソリューション

操作装置

オリンパス測定顕微鏡STM 7シリーズについては、リセットカウンタ、照明制御、フォーカス調整、オートフォーカスなどの機能を含む、単一の操作装置を使用してほぼすべての測定顕微鏡操作を実行できる限り。効率性と利便性を高めるために、設置したい場所に装置を置き、簡単に片手で操作することができます。

コントロールボックス

各ユニットの電源と通信は、単一の制御ボックスに統合されています。フォーカスナビゲーション機能などのオプション機能を追加しても、追加の電源装置を追加する必要はありません。このような設計により、作業スペースの占有を大幅に減らすことができます。

手動Z軸フォーカス用機種：STM 7-HS手動操作装置

電動Z軸フォーカス用機種：STM 7-MCZ電動操作装置

観察と測定の効率を大幅に向上させた光源マネージャ

よくある質問

·従来の測定顕微鏡で使用されてきたアナログつまみ調整方式では、光強度の定量制御は実現できなかった。このように測定ごとの光強度が一致しないため、測定値も変化する。

·従来の測定顕微鏡を使用する場合、対物レンズを切り替えるたびに光強度を調整する必要があり、ワークフローが非常に非効率的になります。

STM7ソリューション

光源の明るさを定量的に把握できるデジタル表示

STM 7の光強度は定量的に示すことができ、これにより、常に同じ条件下で観察と測定を実施することが保証される。

対物レンズの切り替え時に、手動で光強度を調整する必要はありません
光強度マネージャは、コード化対物レンズターンテーブル構成と組み合わせて使用することができます。符号化対物レンズ付きターンテーブルは現在使用されている対物レンズを自動的に識別し、光源マネージャのプリセット値機能と結合して、対物レンズごとに照明方式と光強度を登録することができます。これにより、対物レンズを切り替えるたびに、光の強度を自動的に調整したり、照明方式を調整したりすることができます。以前のように倍率を切り替えるたびに手動で光強度を調整する操作は、今では省略することができます。

5倍対物レンズ強度50 20 x対物レンズ強度70 100 x対物レンズ強度120

任意の使いやすい場所に置くことができるリムーバブルカウンタは、測定結果や機器の状態をいつでも迅速にチェックできるようにしています。

よくある質問

·照明状態などの機器の運転状態や測定結果を確認する必要がある場合は、異なるユニットに表示することで操作が非常に煩雑になるためです。

STM7ソリューション

現在の状態を一目で確認できるカウンタ

カウンタにはデバイスの状態と設定を表示するランプが付いており、デバイスの現在の設定状態の確認を簡単に行うことができます。X、Y、Z軸の小単位は0.1μmと1μmの間で切り替えることができ、また、ミリ、マイクロメートル、インチ、ミルの間で表示単位を切り替えることもできます。

カウンタはミラーフレームに取り付けられている

個性的なニーズに対応した自由に配置できるリムーバブルカウンタ

取り外し可能なカウンタは、ミラーフレームに取り付けてもテーブルに置いても、ユーザーの使用状況や使用習慣に応じて、好ましい位置に置くことができます。ユーザが立って測定を行う場合、観察位置とほぼ同じ高さのミラーフレーム側にカウンタを設置することで、簡単な観察と検査結果を容易にすることができます。ユーザがデジタルカメラを介してディスプレイ上で観察・測定したり、電動Z軸フォーカスモデルを使用したりする場合は、カウンタや操作装置をテーブルに置くだけで簡単に椅子に座って作業を行うことができます。

カウンタをテーブルに置く

オートフォーカスシステムが持つ反復性

より速く、より簡単で、より正確な高さ測定を実現

よくある質問

·目視測定を行うと、異なる操作者が異なる高さ測定値を測定します。また、この測定方法は非常に時間がかかり、効率が悪い。

STM7ソリューション

優れた再現性、シンプルで高精度なフォーカスシステム

オリンパスのフォーカスナビゲーションシステムは、パターンを視野範囲に投影し、上下パターンの重なり具合を操作者が確認することで、再現性の高い高さ測定操作を実現している。通常の目視で高度測定を行うと、非常に鮮明に見える*合焦した画像でも、微小な誤差が発生します。STM 7を用いたフォーカスナビゲーションシステムは、マーカーを合わせるだけで測定できるため、操作者の主観が測定結果に与える影響を低減する。

目視高さ測定

フォーカスナビゲーションシステム

焦点下方焦点位置焦点上方

オートフォーカスの利点高速高精度測定

よくある質問

·目視測定を行う場合、操作者によって異なる高さ測定結果が得られます。

·手動高さ測定には、操作者が移動ステージを繰り返し、つまみを使って焦点を合わせる操作を行う必要があり、これにより測定に時間がかかり、非効率になる。

·リード線などの微小な物体に焦点を合わせるのは難しい。

STM7ソリューション

オートフォーカスユニット：優れた再現性とフォーカス速度

操作者の経験にかかわらず、STM 7オートフォーカスユニットを使用することで、短時間で高精度な高さ測定を実現することができます。粗いまたは傾斜したサンプル表面であっても、能動反射、共焦点方法を用いて安定した合焦を実現することができ、小径のレーザー光でも、リード線などの微小な物体に対する自動合焦を保証することができる。

シングルフォーカスモード

オートフォーカスを実行すると、大まかなフォーカス状態から視野中心への明瞭なフォーカスが瞬時に完了します。

トレースモード

特徴的なトラッキングモードをオンにすると、サンプル表面の高低変動に応じてオートフォーカスが行われ、テーブルを移動しても常に合焦状態を維持することができます。これにより、操作者はXとYハンドルから手を離す必要がない場合にも観察を実施することができ、Z軸の測定効率を大幅に向上させることができる。

観察と測定範囲の拡大を実現する部品

コード付き対物レンズターンテーブル

コード化された対物レンズターンテーブルをデジタルカメラと組み合わせて使用すると、観察中に対物レンズの倍率を画面に表示することができ、倍率を記録しやすくなります。倍率の切り替え時にソフトウェアに記録されているキャリブレーション値と光強度と連動して設定を調整することもできます。有明フィールド対物レンズとシェーディングフィールド対物レンズの2種類をお選びいただけます

MM 6-EMO/正像単眼鏡筒

正立画像用単眼鏡筒。MM 6-OCC 10×（十字線付き接眼レンズ）と組み合わせて使用できます。

STM 7-FS/フットスイッチ

XとYハンドルから手を離さずに操作者が測定を完了できるように、手でデータ転送を行う必要がないことを実現した。

SZ-LW 61/白色光LED照明ユニット

小型、軽量、長寿命、低消費電力などの特徴がある。また、この高価格比LED照明ユニットでも点滅や輝度変動は発生しません。

SZX 2-ILR 66+SZX-RHS/LEDリング照明装置+手動制御ユニット

SZX−RHS手動制御ユニットは、SZX 2−ILR 66反射LEDリング照明装置の4段独立照明を実現し、色温度の高い鮮明な画像を提供することができる。13パターンから選択できる照明。

かいてんステージ

スピナーノブを使用すると、サンプルの平行配置を簡単に行うことができます。

STM 7-RS 100用STM 7-CS 100 mm×100 mmステージ

STM 7-RS 200 STM 7-CS 200 mm×200 mmステージ用

STM 7-RS 300 STM 7-CS 300 mm×300 mmステージ用

より先進的な測定のために設計されたシステム

測量支援システム

測定顕微鏡から出力されたデータや画像を表示するには、見れば見るほどわかりやすく、より迅速に使用して測定することができます。より高い精度で複雑な測定を推進するのが新しいオリンパスの開発だそくていソフトウェアの原因がある。このソフトウェアはデジタルカメラと併用することもできます。

サンプルを置いてから測定を開始します。サンプルを平行に揃える必要はありません

ちょくせつそくりょう

STM 7から出力された座標情報を受けて測定する。

さいよびだしそくりょう

測定または計算後に得られた座標は、その後の測定に再利用することもできます。これにより、同じ作業の繰り返しが回避され、よりスムーズで効率的なワークフローが実現します。

仮想ポイントメジャー

直線と円形を描画することにより、交点、中点、長さ、および一連の他の測定項目を形成することができ、その後、収集されたサンプル画像上でこれらの測定項目を参照点として保持することができます。

位置合わせメジャー

原点とX軸はサンプルに応じて設定することができ、これによりサンプルがステージと平行に位置合わせされていない場合でも測定が可能になります。

元のシャフトの新しいシャフト

XZ平面メジャー

従来の測定顕微鏡は、平面から見たXY平面の測定を主としている。断面方向を側面視で測定するユーザーのニーズに応えるため、オリンパスはSTM 7-BSWにXZ平面測定機能を内蔵している。以前は実施が難しかった測定は、半球状の物体の垂直断面の半径測定や、基準線に比べて湾曲した底部を持つ溝の深さ測定など、現在では非常に容易になっている。

半球形試料の半径測定溝の底部と基準線の高さ測定

繰り返し測定を記録するには

マクロ登録

顕微鏡を起動するたびにゼロから開始する必要がないように、通常使用される位置合わせと他の測定ステップ群を組み合わせて単一のマクロボタンに定義することができます。

測定の繰り返し

記録された教学リストの指示に基づいて、簡単にステージを移動し、座標値を取得することで、簡単に繰り返し測定を行うことができ、すべての作業を完了することができます。この機能は、同じ種類のサンプルに対して同じ測定項目を繰り返し実行するために使用できます。また、記録されたカリキュラムに設定値と公差を設定すると、測定値が規格を超えた場合にソフトウェアが自動的に判定することができます。

NG結果例

測定を繰り返し実行する測定点のナビゲーション

この機能は、次の測定点に移動する方向と距離を表示することができ、操作者のこの一環での苦悩を解消することができます。この機能により、各移動前に図面上で次の測定点を確認する手間が省け、測定を繰り返す際に作業者の作業速度が向上します。

測定中の主観的な影響を排除できる便利な機能

自動エッジ検出

この機能はサンプルのエッジを検出し、自動的にサンプルの座標を取得して測定する。そのため、操作者は座標を必要とせず、操作者の主観が測定に与える影響を低減する。自動エッジ検出のもう1つの特徴は、所定の時間になると自動的に座標を取得するタイミング機能を備えていることです。タイミング機能と足踏みスイッチ機能により、作業者は手がステージハンドルから離れる必要がなくても測定に専念することができる。

円形内の自動エッジ検出多点自動エッジ検出

異常点除去

エッジ検出中は、金属バリなどの異常点を自動的に除外することができます。これにより、サンプルの状態にかかわらず、一貫した測定値計算結果が得られる。また、除外された異常点を異なる色で画面に表示することもできます。

異常点付きサンプル異常点除去機能

しょうめいせいぎょ

顕微鏡照明の光強度もソフトウェアにより正確に制御することができる。繰り返し実行測定の教学リストを登録すると、光強度の設定を保存することもでき、これにより、繰り返し実行測定または自動エッジ検出中に、同じ照明条件下で測定を実施することができます。

自動倍率認識（オプション、エンコード対物レンズターンテーブルの構成のみ）

符号化対物レンズターンテーブルを使用することにより、対物レンズを切り替える際に、以前設定したキャリブレーション値を自動的に呼び出すことができる。これにより、常にディスプレイに適切なスケールを表示することができます。

カスタムレポートの生成

ワンタッチレポートの生成

測定結果は、データの記録中にエラーが発生する可能性を回避するために、Excel形式でワンクリックで出力できます。画像も測定結果と一緒に貼り付けることができ、より効率的にレポートを生成することができます。

オプション機能：マルチプルスプライス（MIA）機能

複数の画像をつなぎ合わせることで、高倍率の広域画像を得ることができます。画像は座標データに基づいて結合されているため、システムは信頼性の高い画像を生成することができる。

オプション機能：被写界深度拡張（EFI）機能

不均一で複雑な表面形状を有するサンプルでは、EFI機能は、高さ範囲全体にわたって良好なピントが合った画像を非常に効果的に取得することができる。EFI機能を使用する場合は、Z軸を移動して異なる焦点位置の画像を複数枚取得し、画像処理を行い、全面的にピントが合った画像に集約します。電動Z軸モジュールを使用すれば、ワンタッチ自動画像合成が可能です。