高清浄度石英プラズマ洗浄機材料表面洗浄

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概要

VPS-QZ 05石英真空プラズマ処理器は実験室に対して専門的に開発する必要がある小型卓上プラズマ洗浄機であり、処理室は円筒形石英ガラスであり、プロセッサは容量結合外電極型であり、内部に電極がない。

製品詳細

製品紹介

VPS-QZ 05石英真空プラズマ処理器実験室に対して専門的に開発する必要がある小型卓上プラズマ洗浄機であり、処理室は円筒形石英ガラスであり、プロセッサは容量結合外電極型であり、内部に電極がない。すなわち、放電エネルギーがプロセッサ外部から印加され、極板に電極の腐食や反応物が堆積する問題を回避することができる。

VPS-QZ 05石英真空プラズマ処理器適用：PDMS結合、特定官能基導入、プラズマアッシング、表面親水性改質、接着性向上

VPS-QZ 05石英真空プラズマ処理器特徴：処理中に汚染物質を導入せず、操作が簡単で、研究院、大学、研究開発センターの使用に適している

VPS-QZ05石英真空等离子处理仪

製品仕様

モデル	VPS-QZ05
頻度	13. 56 MHz
電力	0-200 W連続調整可能
キャビティマテリアル	こうしつせきえい
キャビティ容積	5L
キャビティ寸法	Φ150×290（D）mm
ガス流量制御器	MFCマスフローコントローラ
ガス回路数	2ウェイガス、常用O 2、Ar 2、N 2、H 2、等（腐食性ガスはカスタマイズが必要）
真空測定システム	ピラニ真空シリコン管
げんかいしんくうど	1パ
せいぎょモード	PLC+4.3インチタッチスクリーン
真空ポンプ	オイルポンプ/ドライポンプ（オプション）
電源供給	AC220V/50Hz
外形寸法	550mm（L）×450mm（W）×500mm（H）

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