ウェハデガムプラズマエッチングマシン改質

プラズマエッチング及び堆積装置

深圳深光達科技有限公司はプラズマ技術分野を10年余り耕作し、表面処理ソリューションサービス業者である。会社が自主的に開発した真空、大気常圧及びマイクロ波プラズマ洗浄設備は、精密洗浄と活性化であり、設備の連続運行安定性は99.6%以上に達し、ISO 9001/14001双体系認証を通過した。その低温真空プラズマ脱膠機**は半導体パッケージの段階で毎時300枚のウエハの量産処理を実現し、エッチング均一性誤差＜3%で、顧客の良品率を20%+向上させることを助ける。自動車内装、医療導管などの複雑な曲面に対して、**常圧回転スプレーガンシステム**は360°処理を完了でき、表面張力値は72 mN/m以上に安定的に上昇する。現在、フォックスコン、比亜迪などの200+企業生産ラインで7×24時間の無停止作業を実現し、設備MTBFは8000時間を突破し、航空品質で工業洗浄基準を再定義した。