パッケージなどのプロセス品質デスクトッププラズマ洗浄機の活性化

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概要

VPS-RF 05小型デスクトップ型真空プラズマ処理器は実験室に対して専門的に開発する必要がある小型デスクトッププラズマ洗浄機であり、処理室は円筒形石英ガラスであり、プロセッサは容量結合外電極型であり、内部に電極がない。

製品詳細

製品概要：VPS-RF 05は、真空状態（約10 ~ 100 pa）でガスに電界を印加する小型デスクトップ型真空プラズマ処理装置であり、ガスは電界から供給されるエネルギーの下でガス状態からプラズマ状態（物質の「第4状態」ともいう）に変化し、その中には大量の電子、イオン、光子、各種ラジカルなどの活性粒子が含まれ、通常の化学反応によって発生する活性粒子よりも種類が多く、活性が強く、接触した材料表面と反応しやすい。これらの高エネルギー粒子及び活性粒子を用いて材料表面と物理的又は化学的に反応させることにより、材料表面の性質を変化させる目的が達成される。

VPS-RF 05小型デスクトップ型真空プラズマ処理器特徴：プラズマ電源回路技術、放電構造を輸入し、プラズマの均一分布を確保する

VPS-RF 05小型デスクトップ型真空プラズマ処理器適用：表面有機物の除去、接着性の向上、表面濡れ性の向上、生体適合性の向上、表面エネルギーの向上、表面粗さの改善

VPS-RF05 小型桌面型真空等离子处理仪

製品パラメータ：

モデル	VPS-RF05
頻度	13.56MHzのじどうインピーダンスせいごう
電力	0〜200Wれんぞくかちょうせい
キャビティマテリアル	インレットレベル316Lステンンレス鋼
キャビティ容積	5L
キャビティ寸法	Φ150（直径）×280（D）
ゆうこうしょりめんせき	140（W）* 250 （D） mm
ガス流量制御器	MFCマスフローコントローラ
ガス回路数	2 道路ガス、常用O2、アー2、N2 の，H2、等（腐食性ガスはカスタマイズが必要）
真空測定システム	ピラニ真空シリコン管
げんかいしんくうど	1パ
せいぎょモード	4.3インチタッチスクリーンPLC
真空ポンプ	オイルポンプ/ドライポンプ（オプション）
電源供給	AC220V/50Hz
外形寸法	550mm（L）×450mm（W）×500mm（H）

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