オンライン真空プラズマ洗浄機の打線

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概要

VPS-RF 120真空プラズマ洗浄設備は実験室に対して専門的に開発する必要がある小型卓上プラズマ洗浄機であり、処理室は円筒形石英ガラスであり、プロセッサは容量結合外電極型であり、内部に電極がない。

製品詳細

VPS-RF 120真空プラズマ洗浄装置概要：

VPS−RF 120真空プラズマ洗浄設備は主に真空チャンバ、高周波プラズマ電源、真空発生及び測定システム、プロセスガスシステム、制御システムなどの部分から構成される。動作の基本原理は真空ポンプを用いて作動室を一定の真空度まで真空引きした後、プロセスガスを通し、高周波発生器の作用の下で、陽極と陰極の間に高周波交流電界を形成し、ガスを電離し、プラズマを形成する。気体がプラズマ状態に達すると、気体分子は高度に活発な粒子に分裂する。プラズマ洗浄のメカニズムはまさに「プラズマ状態」にある物質の「活性化作用」によって、物体の表面汚れを除去したり、界面活性を改善したりする目的を達成することである。

VPS-RF120 真空等离子清洗设备

VPS-RF 120真空プラズマ洗浄装置特徴：欧米の放電技術、専門型放電構造、科学シミュレーションプラズマ分布が均一で、処理効果が均一である

製品応用：表面有機物の除去、表面油汚れ洗浄、表面親水性の向上、表面接着性の改善、表面付着力の向上、バインディング性能の向上

製品パラメータ：

モデル	VPS-RF120
プラズマ周波数	13.56 MHz自動インピーダンス整合
工作真空度	10-100パ
真空ポンプ	オイルポンプ/ドライポンプ（オプション）
電力	0-1000 W調整可能
キャビティマテリアル	輸入段316 Lステンレス鋼/航空アルミニウム合金（オプション）
キャビティ寸法	500 （W） * 500 （D） * 490 （H） mm
キャビティ容積	120L
単層有効処理面積	450mm（W）*430mm（D）
ガス回路数	2ウェイガス、支持酸素、アルゴン、窒素、水素など（腐食性ガスはカスタマイズが必要）
処理レベル数	8層（カスタマイズ可能）
せいぎょモード	PLC+タッチスクリーン
電源	AC380V、50/60Hz
外形寸法	950mm（L）×1100mm（W）×1800 mm（H）

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